干净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是传染节造的基础,没有干净室,传染敏感零件不成能批量出产。在FED-STD-2里面,干净室被界说为具备空气过滤、分配、优化、机关资料和装置的房间,其中特定的规定的操作法式以节造空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒干净度级别。
净化工程是在肯定空间领域内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等传染物排除,并将室内温度、干净度、压力、气流速杜纂气流散布、噪音振动及照明、静电节造在某一需要领域内的工程学科。净化工程所出格设计的房间,不论表在空气前提若何变动,室内均拥有维持原先所设定要求之干净度、温湿度及压力等机能。
干净室最重要之作用在于节造产品(如硅芯片等)所接触之大气的干净度日及温湿度,使产品能在一个优良之环境空间中出产、造作,此空间我们称之为干净室。依照国际通例,无尘净化级别重要是凭据每立方米空气中粒子直径大于划分尺度的粒子数量来划定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃,而是节造在一个极度微量的单元上。当然这个尺度中切合尘埃尺度的颗粒相对于我们常见的尘埃已经是幼的微乎其微,但是对于光学机关而言,哪怕是一点点的尘埃城市产生极度大的负面影响,所以在光学机关产品的出产上,无尘是必然的要求。









